Микроелектромеханичните системи (MEMS/МЕМС), наричани също микроелектромеханични системи (или микроелектронни и микроелектромеханични системи), и свързаните с тяхмикромехатроника и микросистеми представляват технологията на микроскопичните устройства, особено на тези с подвижни части.